电动真空位移台采用了适合真空度高达10-7Pa的真空电机，所有机械部件都采用高度真空兼容润滑脂润滑，不易挥发。
产品特点：
主体材料：主体框架均采用不锈钢或硬铝合金材质。
线性导轨：采用专用真空导轨，脱脂处理后真空专用油脂润滑，放气量小，便于最短时间内实现真空
滚珠丝杠：清洗剂脱脂处理后真空专用油脂润滑，放气量小，便于最短时间内实现真空。
电机：采用真空专用电机，零件均进行充分的热真空脱气，以达到产品在真空室中低出气率的效果