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描述：静音空气机气源，噪声低（小于65分贝） 平面度：< 0.05mm/m2 表面粗糙度：< 0.8μm 固有频率：垂直1.2Hz～1.8Hz,水平1.2Hz～1.8Hz 振幅：< 1.2μm 重复定位精度：+0.05mm 空气压力：0.2-0.6（Mpa） 光学平台尺寸可按客户要求定制
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